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公告號
I661196 
專利名稱 不含液體樣品阱及量測微量酸性及鹼性AMC之分析方法
LIQUID-FREE SAMPLE TRAPS AND ANALYTICAL METHOD FOR MEASURING TRACE LEVEL ACIDIC AND BASIC AMC
公告日 2019/06/01
證書號 I661196
申請日 2014/09/05
申請號 103130745
國際分類號
/IPC
G01N-033/00(2006.01)
公報卷期 46-16
發明人 貿爾頓 泰勒 MOULTON, TYLER;
羅伯特 猶根M LOBERT, JUERGEN M.;
高卓 約翰C GAUDREAU, JOHN C.;
勒布朗 湯瑪士 LEBLANC, THOMAS
申請人 美商恩特葛瑞斯股份有限公司 ENTEGRIS, INC. 美國麻州比勒瑞卡市康寇路129號 US
代理人 陳長文
優先權
美國 61/874,706 20130906
美國 61/933,294 20140129
參考文獻 US3985017
審查人員 謝敏哲
摘要 本文描述用於氣體中微量酸性或鹼性氣載分子污染物的不含液體阱。在本文所述的本發明之一種型式中,該不含液體阱包含外殼,其包含入口及出口;在該入口與該出口之間的流動路徑;及剛性燒結親水性材料,其位於該入口與該出口之間的該流動路徑中且密封於該外殼中。該剛性燒結親水性材料以約0.05莫耳毫當量至約10莫耳毫當量用於捕捉該氣體中之酸性氣載分子污染物的鹼性物質或約0.05莫耳毫當量至約10莫耳毫當量用於捕捉該氣體中之鹼性氣載分子污染物的酸性物質官能化。亦描述使用該不含液體阱偵測或量測微量酸性或鹼性氣載分子污染物的方法。
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