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公告號
I662273 
專利名稱 缺陷檢測設備及缺陷檢測方法
DEFECT DETECTING EQUIPMENT AND DEFECT DETECTING METHOD
公告日 2019/06/11
證書號 I662273
申請日 2018/08/20
申請號 107128999
國際分類號
/IPC
G01N-021/88(2006.01);H01L-021/66(2006.01)
公報卷期 46-17
發明人 陳宗彥 CHEN, TSUNG-YEN;
余昌和 YU, CHANG-HO
申請人 友達晶材股份有限公司 AUO CRYSTAL CORPORATION 臺中市后里區后科路二段335號 TW
代理人 葉璟宗;
卓俊傑
參考文獻 TW200506343A
JP3275022B2
US2007/0008518A1
審查人員 林永昌
摘要 一種缺陷檢測設備及缺陷檢測方法。所述缺陷檢測設備包括螢光檢測裝置以及處理模組。螢光檢測裝置用以激發樣品使其發出螢光,並將螢光分光為一光束,以產生螢光光譜訊號。處理模組用於接收螢光光譜訊號,並選定預先決定的第一波長範圍的螢光強度積分值以及預先決定的第二波長範圍的螢光強度積分值進行數值運算,以得到樣品內預先決定的深度的螢光影像,其中第一波長範圍與樣品內所述預先決定的深度相關聯,且第二波長範圍不等於第一波長範圍。
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