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  案件狀態     權利異動  
公告號
I662358 
專利名稱 缺陷檢測方法與缺陷檢測系統
DEFECT DETECTING METHOD AND DEFECT DETECTING SYSTEM
公告日 2019/06/11
證書號 I662358
申請日 2018/05/02
申請號 107114942
國際分類號
/IPC
G03F-001/84(2012.01);G01N-021/956(2006.01)
公報卷期 46-17
發明人 陳建輝 CHEN, CHIEN-HUEI
申請人 台灣積體電路製造股份有限公司 TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD. 新竹市力行六路八號 TW
代理人 卓俊傑
優先權
美國 62/579,106 20171030
美國 15/884,305 20180130
參考文獻 TW201614586A
TW201708942A
CN101241084A
JP2016-9180A
審查人員 蔡宏鑫
分割子案108115035
摘要 一種缺陷檢測方法以及一種缺陷檢測系統。所述缺陷檢測方法包括:對由晶圓檢查工具掃描的參考晶圓的連續的晶粒的多個掃描影像應用排序濾波器,以獲得多個參考晶粒影像;收集由晶圓檢查工具掃描的目標晶圓的目標晶粒的多個目標晶粒影像;將目標晶粒影像與參考晶粒影像進行比較,以根據目標晶粒影像與參考晶粒影像中的對應像素的像素值的差異來檢測多個缺陷;以及從檢測到的多個缺陷中排除多個共有缺陷,以檢測印刷在目標晶圓上的光罩缺陷。其中,共有缺陷是通過晶圓檢查工具對目標晶圓執行晶圓檢查而獲得。
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