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公告號
I664044 
專利名稱 一種適於在雷射加工工藝中使用的F-theta鏡頭
公告日 2019/07/01
證書號 I664044
申請日 2018/08/30
申請號 107130295
國際分類號
/IPC
B23K-026/064(2014.01);G02B-009/60(2006.01)
公報卷期 46-19
發明人 孫建超 SUN, JIANCHAO
申請人 大陸商上海微電子裝備(集團)股份有限公司 中國大陸 CN
代理人 何秋遠
優先權
中國大陸 201710763481.5 20170830
參考文獻 CN100549748C
CN100582853C
CN101846791B
CN101881875B
CN102809804B
CN103984078B
CN104317034A
CN104375261A
EP1081525B1
EP2908163A1
US6324015B
US8462439B2
US9739984B2
US2013/0050839A1
US2015/0293333A1
WO2014/067085A1
審查人員 鄭廷仰
摘要 本發明提供了一種適於在雷射加工工藝中使用的F-theta鏡頭,所述F-theta鏡頭包括:具有正光焦度的第一透鏡、具有負光焦度的第二透鏡、具有正光焦度的第三透鏡、具有正光焦度的第四透鏡、以及具有正光焦度的第五透鏡;通過對所述透鏡的鏡面曲率進行優化,使所述F-theta鏡頭具有大視場、低遠心度和小畸變的特點,有效減小雷射加工時光點在水平向的測量誤差,以及較好地抑制了掃描視場範圍內雷射光點的變形。
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