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公告號
I664586 
專利名稱 透過瑕疵複數光場之透明基板瑕疵檢測方法
METHOD FOR DEFECT INSPECTION OF TRANSPARENT SUBSTRATE THROUGH COMPLEX DEFECT DIFFRACTION WAVEFRONT
公告日 2019/07/01
證書號 I664586
申請日 2018/03/22
申請號 107109876
國際分類號
/IPC
G06N-003/08(2006.01);G01N-021/958(2006.01)
公報卷期 46-19
發明人 鄭超仁 CHENG, CHAU JERN;
杜翰艷 TU, HAN YEN;
張簡光哲 CHANG CHIEN, KUANG CHE;
林昱志 LIN, YU CHIH
申請人 國立臺灣師範大學 NATIONAL TAIWAN NORMAL UNIVERSITY 臺北市大安區和平東路1段162號 TW
代理人 江國慶
參考文獻 TWI388817
TWI394946
審查人員 潘世光
摘要 一種透明基板之瑕疵檢測方法,包括:利用一波前重建單元,取得一透明基板之瑕疵複數光場;利用一瑕疵繞射模組,確認該瑕疵複數光場之有效的繞射範圍;利用一瑕疵偵測模組,偵測該透明基板之瑕疵所在的位置;利用一瑕疵分類模組,執行繞射特徵之擷取、分析與分類,並利用機器學習或深度學習演算法進行自動化瑕疵辨識。
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