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  案件狀態     權利異動  
公告號
I665445 
專利名稱 光學晶粒至資料庫檢測
OPTICAL DIE TO DATABASE INSPECTION
公告日 2019/07/11
證書號 I665445
申請日 2016/04/01
申請號 105110705
國際分類號
/IPC
G01N-021/95(2006.01);H01L-021/66(2006.01);G06T-007/00(2017.01);H01L-021/67(2006.01)
公報卷期 46-20
發明人 威爾斯 凱斯 巴克利 WELLS, KEITH BUCKLEY;
李小軍 LI, XIAOCHUN;
高 理升 GAO, LISHENG;
羅 濤 LUO, TAO;
胡柏爾 馬庫斯 HUBER, MARKUS
申請人 美商克萊譚克公司 KLA-TENCOR CORPORATION 美國 US
代理人 陳長文
優先權
美國 62/142,926 20150403
美國 15/088,081 20160331
參考文獻 TW200425371A
TW201502499A
US2013/0093878A1
US2014/0037187A1
WO2008/141064A1
WO2013/018259A1
審查人員 謝介銘
摘要 本發明提供用於偵測一晶圓上之缺陷之方法及系統。一系統包含經組態以基於用於印刷於該晶圓上之一設計之資訊產生一呈現影像之一或多個電腦子系統。該呈現影像係由該光學檢測子系統針對印刷於該晶圓上之該設計產生之一影像之一模擬。該(等)電腦子系統亦經組態用於比較該呈現影像與由該光學檢測子系統產生之該晶圓之一光學影像。使用一倍縮光罩將該設計印刷在該晶圓上。另外,該(等)電腦子系統經組態用於基於該比較之結果偵測該晶圓上之缺陷。
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